Основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие
Неволин Владимир Кириллович
Аннотация издательства: Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если размеры этих элементов достигают порядка нанометра, то существенными становятся квантовые эффекты, принципиально меняющие физику явлений, лежащих в основе работы приборов. Создание таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе является предметом нанотехнологии. В пособии изложены физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначено для студентов старших курсов и аспирантов, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии 21 века.
Kategori:
Tahun:
1996
Penerbit:
МГИЭТ (ТУ)
Bahasa:
russian
Halaman:
46
ISBN 10:
5725601072
ISBN 13:
9785725601077
Fail:
DJVU, 901 KB
IPFS:
,
russian, 1996